X射線光電子能譜儀XPS是利用X光量子的能量不同來進行元素分析的方法，對于某一種元素的X光量子從主量子數為n1的層躍遷到主量子數為n2的層上時，有特定的能量ΔE=En1-En2。能譜儀的分辨率高，分析速度快，但分辨本領差，經常有譜線重疊現象，而且對于低含量的元素分析準確度很差。

　　X射線光電子能譜儀XPS與波譜儀相比的優點：

　　(1)、能譜儀探測X射線的效率高。

　　(2)、能譜儀的結構比波譜儀簡單，沒有機械傳動部分，因此穩定性和重復性都很好。

　　(3)、能譜儀不必聚焦，因此對樣品表面沒有特殊要求。

　　但是能譜儀的分辨率比波譜儀低；能譜儀的探頭必須保持在低溫狀態，因此必須時時用液氮冷卻。

　　X射線光電子能譜儀XPS采用大體積率的碲鋅化鎘探測器，與NaI探測器相比，能量分辨率好數倍，這就極大地提高了測量精度，減少了誤測和漏測。

　　電子學部分是基于2048道數字信號處理技術和能量補償劑量算法的MCA。配置有3He中子探測器，具有對中子的高靈敏度而無Gamma串擾。

　　X射線光電子能譜儀XPS的主要特點：

　　1、SPRD和RIID能力

　　2、一體化設計，具有極大的多功能和通用性。

　　3、操作簡單方便，三鍵操作。

　　4、頂部有一個高密度LED，前端是一個大面積高亮度全彩色VGATFT顯示屏，可轉動180度，易于在任何角度瀏覽測量數據。

　　5、配有揚聲器，可通過聲音引導和報警。報警音調正比于警報水平。

　　6、可選擇內置的VGA數字相機，麥克風和錄音機記錄結果，這可以提供豐富的被懷疑的測量對象的資料。

　　7、不需要計算機

　　8、快捷有效的通訊和記錄結果

　　9、128MbSD存儲卡（可擴展）可確保數千個測量結果的存儲。

　　10、具有USB接口。

　　11、可配置藍牙無線組件，通過手機或衛星電話等方式聯接到專家系統等第三方，實現即時分析。

　　12、符合ANSI42.32和CE標準。